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ドライ真空ポンプメーカー3選
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用途別
おすすめドライ真空ポンプ
メーカー3選
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出典元:
神港精機は、真空ポンプ分野で75年以上の歴史を持つ老舗メーカーです。油回転式、水封式、ドライポンプをすべて手がける国内でも希少なメーカーで、それぞれの長所と短所を熟知しているため、顧客の用途に合わせた最適な提案が可能です。
特に、全製品を100%検査してから出荷する徹底した品質管理が魅力です。ポンプの組み合わせ技術にも優れ、様々なトラブルに対応可能。真空技術のエキスパートとして、トラブルに悩む顧客にとって「最後の砦」として信頼されています。
創業75年の
信頼と技術力神港精機は創業75年を超える歴史の中で、真空ポンプの技術を磨き続け、油回転式、水封式、ドライポンプをすべて手がける国内でも希少なメーカーです。
出荷前の全数検査で
確実な品質保証全てのポンプにおいて、1台1台出荷前に全数検査を実施。複数のポンプを組み合わせた大規模なシステムでも、徹底したチェックにより確実な品質を保証、顧客に安心を提供します。
トラブルに悩む顧客の
「最後の砦」用途に応じたポンプ選定や複数ポンプの組み合わせで、幅広い顧客ニーズに対応。他社製品でトラブルを抱えた顧客にも、最適な提案をし、「最後の砦」として信頼されています。
出典元:
神港精機の「SST・SSXシリーズ」は、特許取得済みのゼロエッジスクリューを採用し、逆流を防ぎながら高効率な排気を実現するドライ真空ポンプです。腐食性ガスや凝縮性ガス、粉体の吸引にも対応し、厳しいプロセス環境でも安定稼働が可能です。また、メンテナンスが簡単で、液体洗浄や溶剤洗浄をユーザー自身で行えるため、従来のような大型ポンプをメーカーへ送る手間や高額な修理費用を削減できます。多彩なオプションにも対応しており、様々な業界での用途に柔軟に対応できるのが特徴です。
工場炉(焼結・脱脂・侵炭・一般熱処理)
樹脂形成(押出機・成形機)
化学品・食品・医薬品製造プロセス(重合・反応・脱水・乾燥・凍結乾燥など)
シリコン単結晶引上装置
真空洗浄装置
特 徴
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- 01
- 革新的なメンテンスシステム
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- 02
- 全ての圧力領域で連続運転可能
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- 03
- ハードプロセスでも安全運転
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- 04
- ニーズに合わせてカスタム可能
出典元:
神港精機の「SSHシリーズ」は、高効率なDCブラシレスモータを搭載し、運転中に「POWER MODE」と「ECONOMY MODE」の切り替えが可能な、省エネと高性能を両立したドライ真空ポンプです。モニタリングや保護機能を内蔵したポンプコントローラーを装備し、遠隔操作や異常時の自動停止で安全性を確保。移動が容易なキャスター付きで、設置の柔軟性も高く、耐久性と操作性を兼ね備えたタフでスマートなポンプです。年間で約64,000円の節電効果や約1,400kgのCO2削減を実現する環境性能も特徴です。
半導体製造、電子部品製造(蒸着、スパッタリング、エッチング、後工程装置など)
一般産業(吸着搬送、ガス置換、封止排気、減菌など)
研究開発(エバポレータ、環境試験機など)
特 徴
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- 01
- 省エネ・節電効果◎
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- 02
- 遠隔操作可能
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- 03
- 自動運転停止機能搭載
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- 04
- SSTシリーズの堅牢性をそのままに
粘着性の吸引物を安定的に排気し、
ポンプ稼働中に吸気口から洗浄液を投入し、
ポンプ内部をクリーニングすることも可能。当社のSSTシリーズの導入前は、直結型油回転真空ポンプを10台以上使用。稼働率の高い装置で24時間連続運転が要求される。オイル交換は100 時間に1回行い、オイルの使用量はポンプ1台で約10L。また、ポンプが3ヵ月に1回程度ロックするため、そのたびにメーカーに送りオーバーホールを実施していた。ランニングコストの高さと突発的なロックにお客様は悩まれていた。このラインに採用されたSSTシリーズにより、ランニングコストを月約150万円削減することに成功。さらには突発的なロックが無くなり、安定した操業を実現。これが真空ポンプのパイオニア、神港精機のSST/SSXシリーズの実力。
導入前の課題
他社製の直結型油回転ポンプを使用していたが、粘着性の吸引物が原因で頻繁にロックして いた。
ソリューション
当社のドライポンプに置き換え、粘着性の吸引物に対して安定した排気が可能となった。オイル代、交換作業、メンテナンス代などの日々のランニングコストを大幅にカットすることに成功した
会社概要
- 会社名
- 神港精機株式会社
- 住所
- 〒651-2271 兵庫県神戸市西区高塚台3-1-35
- 電話番号
- 078-991-3011
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出典元:
アルバックは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。幅広い業界で実績があり、多用途に対応できるラインナップが特徴。腐食性ガスや粉体の排気に対応した製品も取り揃えており、過酷な環境下での使用にも適しています。また、環境への配慮や運用コスト削減の観点からも、省エネに優れたモデルを展開。長年にわたる技術開発と多様なニーズに応える製品ラインナップにより、幅広い業界で採用されています。
多様な真空技術を
総合的に提供アルバックは、真空装置やコンポーネント、材料、分析機器など、幅広い業界向けに多様な真空技術を総合的に提供しています。変革の時代に迅速に対応し、新たな価値創造を目指してイノベーションを推進しています。
長年にわたる
技術開発真空技術の開発において長年にわたる研究と実績を積み重ねてきたアルバックは豊富な経験をもとに、油回転ポンプやドライポンプなど幅広い製品ラインを展開し、高い信頼性と性能を提供することで、産業の発展に貢献しています。
真空技術を
幅広い業界へ液晶フラットパネルディスプレイや半導体・電子部品向けに加え、自動車・食品・医薬品といった一般産業機器向けまで対応し、それぞれのニーズに合わせた最先端の技術を提供することにより、産業と科学の発展に貢献しています。
出典元:
アルバックの「LSシリーズ」は、生産工程の効率化とコスト削減に貢献するドライ真空ポンプです。大気圧付近での排気速度が速いため、排気時間を従来比で20%短縮可能です。さらに、ECO-SHOCK技術を搭載したC仕様では、消費電力を0.6kW以下に抑え、エネルギーコストを削減できます。また、騒音を61dB(A)以下に抑えた静音設計や、軸シールガス不要の構造により、ランニングコストも削減可能です。クリーンプロセス向けのC仕様やライトプロセス向けのL仕様があり、多様な製造現場に適した選択肢を提供します。
C仕様:クリーンプロセス(LS***A-C)
エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け
スパッタリング/烝着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助 等々
L仕様:ライトプロセス(LS***A-L)
水蒸気や揮発性薬液排気等のライトプロセス向け
真空乾燥/凍結乾燥/アッシング/一般産業用途 等々
特 徴
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- 01
- 高速排気/低消費電力
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- 02
- 到達圧力時の騒音値:61db(A)
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- 03
- C仕様:クリーンプロセス用
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- 04
- L仕様:ライトプロセス用
出典元:
アルバックの「MSシリーズ」は、腐食性ガスや粉体排気を伴う真空プロセスに対応した耐プロセス型のスクリュー式ドライ真空ポンプです。ロータシャフトやシリンダー等の主要部材に特殊表面処理を施し、耐食性を向上。また、独自設計のスクリュー型ロータシャフトにより、粉体排出性も高めています。大気圧から到達圧力までの全圧力領域で連続運転が可能で、半導体製造やリチウム電池製造、医療・食品関連の真空排気系等に幅広く使用されています。
電子部品、半導体製造装置の真空排気系
(エッチング装置、アッシング装置、プラズマクリーニング装置など)
真空熱処理炉の真空排気系(焼結炉、侵炭炉など)
リチウム電池製造装置の真空排気系(電極乾燥装置、脱泡装置、注液装置など)
医療、食品関連装置の真空排気系(凍結乾燥装置、真空乾燥装置など)
特 徴
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- 01
- 高い耐食性能
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- 02
- 高い粉体排出性能
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- 03
- 全圧力領域で連続運転可能
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- 04
- スクリュー型ドライ真空ポンプ
導入事例は見つかりませんでした
会社概要
- 会社名
- 株式会社アルバック
- 住所
- 〒253-8543 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500
- 電話番号
- 0467-89-2033
- 公式サイト
- https://www.ulvac.co.jp/
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出典元:
樫山工業は、長年培ってきた真空技術に基づき、幅広い分野で高い信頼を得ています。特に、半導体製造プロセスにおいてスタンダードとなっている一連のドライポンプのシリーズは、この真空技術の集大成ともいえる製品で、最も困難なプロセスで最も優れた信頼性を発揮するとお客様から高い評価を得ています。
また、ドライポンプに加え、メカニカルブースタポンプや真空排気装置も取り揃え、多分野でその技術力を発揮。先端技術と信頼性で、各産業のニーズに応え続けています。徹底した
顧客第一主義樫山工業は、基幹事業である真空機器事業において、お客様が望むものを望むカタチで提供する、徹底した顧客第一主義のもと、お客様の利益に貢献することで、より一層の信頼向上に努めています。
各産業の
ニーズに対応各産業のプロセスに合わせた多彩な製品・幅広いニーズに応えるラインナップを展開。ドライポンプだけでなく、メカニカルブースタポンプ、真空排気装置等、樫山の真空技術が生み出す製品群は、多分野で威力を発揮しています。
信頼性の高い
樫山のドライポンプ長年にわたって真空技術を磨き上げ、多くの業界で信頼される製品を提供しています。特に半導体分野において、厳しいプロセス条件でも高い信頼性を発揮するドライ真空ポンプシリーズは、その技術の集大成となっています。
出典元:
樫山工業のSDシリーズは、プロセス耐性と進化を追求したドライ真空ポンプで、幅広い温度バリエーションにより多様なプロセスに対応可能です。新たなヒータシステムの採用により、プロセス耐性をさらに強化。また、従来製品に比べて35%のフットプリント削減を実現し、20000L/minクラスで世界最小のコンパクト設計を誇ります。さらに、低消費電力設計やSEMI、CE、NRTLなどの各種規格に対応し、安全性を最優先に設計された高信頼性の製品です。
使用用途は見つかりませんでした
特 徴
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- 01
- 世界最小のフットプリント
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- 02
- プロセス耐性
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- 03
- 各種要求規格に適合した製品
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- 04
- 低電力化を実現
出典元:
樫山工業のNeoDry Gシリーズは、6年に1度のメンテナンスサイクルを実現(大気・N₂吸引時推奨期間)し、長期間の安定運転を可能にしたドライ真空ポンプです。100V・200Vのどちらでも対応可能なワイド入力電源仕様により、様々な電力環境に対応可能。無負荷時の運転音は45db(36Gは51db)と業界最小値を誇る静音性。さらに、空冷FAN制御によりポンプ温度を最適化し、水蒸気処理量が従来比で10%向上。IEC電源コネクタやRS485通信機能も搭載し、国際規格に対応する高性能な製品です。
使用用途は見つかりませんでした
特 徴
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- 01
- 冷空式ドライポンプ
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- 02
- 静音化・温度最適化
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- 03
- IEC 電源コネクタ採用
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- 04
- シリアル通信機能設備
導入事例は見つかりませんでした
会社概要
- 会社名
- 樫山工業株式会社
- 住所
- 〒385-8511 長野県佐久市根々井1-1
- 電話番号
- 0267-67-3311
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