PR ドライ真空ポンプメーカーパーフェクトガイド

2024年最新版

ドライ真空ポンプ

メーカー パーフェクトガイド

このメディアでは、ドライ真空ポンプの選定や購入を検討している方に向けて、用途別のおすすめメーカーを厳選してご紹介しています。このガイドを活用することで、最適なドライポンプと信頼できるメーカーを効率よく見つけることができるでしょう。

出典元:

神港精機株式会社/株式会社アルバック/樫山工業株式会社

2024年最新版

ドライ真空ポンプ

メーカー パーフェクトガイド

出典元:

神港精機株式会社/株式会社アルバック/樫山工業株式会社

このメディアでは、ドライ真空ポンプの選定や購入を検討している方に向けて、用途別のおすすめメーカーを厳選してご紹介しています。このガイドを活用することで、最適なドライポンプと信頼できるメーカーを効率よく見つけることができるでしょう。

メディア厳選

用途別
おすすめドライ真空ポンプ
メーカー3選

  • 一般産業用

    ハードプロセス向け

    神港精機 SST/SSXシリーズ

    神港精機の機械

    特 徴

    低真空~高真空まで対応可能
    ハードプロセスにおいても
    安定的に稼働
    自身でメンテナンス可能
    多彩なアクセサリで最適仕様に
  • 半導体用

    ライトプロセス向け

    アルバック SST/SSXシリーズ

    アルバックの機械

    特 徴

    高速排気
    低消費電力
    到達圧力時の騒音値は
    61db以下騒音問題も解消
  • 半導体用

    ハードプロセス向け

    樫山工業 SDシリーズ

    樫山工業の機械

    特 徴

    世界最小のフットプリント
    さらなる低電力化を実現
    豊富な温度バリエーションにより
    幅広いプロセスへの対応を実現
透明の三角

3社の製品・性能比較

売却実績の表

※2024年9月 各種HP/真空展による調査

ドライ真空ポンプとは

ドライ真空ポンプとは、オイルや水などの液体を使用せず、気体を直接圧縮・排気する真空ポンプの一種です。従来のオイルポンプと異なり、潤滑油や冷却水を使用しないため、メンテナンスが簡単で、汚染のリスクが低いという特徴があります。
製薬、食品、半導体などの産業でクリーンな真空環境が必要な場合に広く使用されています。

ドライ真空ポンプのメリット・デメリット

売却実績の表

ドライ真空ポンプの種類

ドライ真空ポンプは、さまざまな業界で幅広く活用されていますが、その種類によって性能や用途が異なります。ここでは、ドライポンプの代表的な6種類、スクリュー型、多段ルーツ型、多段クロー型、スクロール型、ピストン型、ダイアフラム型について、それぞれの特徴を詳しく解説します。

  • 01 スクリュー型
    構造

    一対のねじ形状をしたスクリューロータの歯溝と、ケーシングで仕切られた空間の気体を、ロータが回転することにより、排気側に移送するポンプです。

    長所

    大気圧から到達圧力まで、各圧力域において、連続運転が可能。

    短所

    単段圧縮のため内部温度が高くなりやすく吸気ガスの制約を
    受ける場合がある。

  • 02 ルーツ型について詳しくみる
    構造

    2つのロータが噛み合わない状態で対向して回転。ロータ間に気体を取り込み、回転によって搬送するポンプです。

    長所

    摩耗を抑えた長寿命設計。

    短所

    異物が入ったときに次のセクションに送り出すことが大変
    それぞれで圧縮されたガスから液体が発生。

  • 03 クロー型
    構造

    それぞれ爪状の突起をもつ一対のクロー形ロータを非接触で互いに反対方向に等速度で回転させ、吸引気体を圧縮して排気するポンプです。

    長所

    クリーンな排気、吐出が可能でメンテナンスの頻度を抑えられます。

    短所

    構造が複雑でメンテナンスが手間
    高い回転数が必要で騒音が大きい。

    クロー型の説明画像
  • 04 スクロール型について詳しくみる
    構造

    固定された渦巻き形のスクロールと、もう一方の可動スクロールが互いに非接触で回転し、気体を中央へと圧縮して排出するポンプです。

    長所

    ルーツ型真空ポンプに比べて小型で安価
    構造がシンプルでメンテナンスが容易

    短所

    可動部の摩耗が進むと性能が低下
    固定・可動スクロールの定期交換が必要。

  • 05 ピストン型
    構造

    シリンダー内でピストンが往復運動を行い、気体を圧縮して
    排出するポンプです。

    長所

    シンプルな構造で安定した性能

    短所

    高真空が得られない

  • 06 ダイアフラム型について詳しくみる
    構造

    ダイアフラム(隔膜)を上下運動させることで、ポンプヘッドとダイアフラムの間の空間を膨張・圧縮し、気体輸送を行うポンプです。

    長所

    クリーンな排気が可能

    短所

    小型なものが多く、高真空が得られない

  • 01 スクリュー型
    構造

    2つのロータが噛み合わない状態で対向して回転。
    ロータ間に気体を取り込み、回転によって搬送するポンプです。

    長所

    摩耗を抑えた長寿命設計

    短所

    異物が入ったときに次のセクションに送り出すことが大変。それぞれで圧縮されたガスから液体が発生。

  • 02 ルーツ型
    構造

    一対のねじ形状をしたスクリューロータの歯溝と、ケーシングで仕切られた空間の気体を、ロータが回転することにより、排気側に移送するポンプです。

    長所

    大気圧から到達圧力まで、各圧力域において、連続運転が可能。

    短所

    単段圧縮のため内部温度が高くなりやすく吸気ガスの制約を受ける場合がある。

  • 03 クロー型
    構造

    それぞれ爪状の突起をもつ一対のクロー形ロータを非接触で互いに反対方向に等速度で回転させ、吸引気体を圧縮して排気するポンプです。

    長所

    クリーンな排気、吐出が可能でメンテナンスの頻度を抑えられます。

    短所

    構造が複雑でメンテナンスが手間
    高い回転数が必要で騒音が大きい。

  • 04 スクロール型
    構造

    2つのロータが噛み合わない状態で対向して回転。
    ロータ間に気体を取り込み、回転によって搬送するポンプです。

    長所

    摩耗を抑えた長寿命設計

    短所

    異物が入ったときに次のセクションに送り出すことが大変。それぞれで圧縮されたガスから液体が発生。

  • 05 ピストン型
    構造

    シリンダー内でピストンが往復運動を行い、気体を圧縮して排出するポンプです。

    長所

    シンプルな構造で安定した性能

    短所

    高真空が得られない

  • 05 ダイアフラム型
    構造

    ダイアフラム(隔膜)を上下運動させることで、ポンプヘッドとダイアフラムの間の空間を膨張・圧縮し、気体輸送を行うポンプです。

    長所

    クリーンな排気が可能

    短所

    小型なものが多く、高真空が得られない

ドライ真空ポンプのメリット・デメリット

ドライ真空ポンプは、用途や環境に応じて適切なモデルを選ぶことが重要です。性能やコスト、メンテナンスのしやすさなど、考慮すべきポイントは多岐にわたります。
ここでは、ドライ真空ポンプを選ぶ際に押さえておきたい8つの重要なポイントについて解説します。

  • POINT01

    真空度(到達圧力)

    真空度が不十分だと、製造や研究の精度に悪影響を及ぼします。

    使用目的に合った到達圧力のポンプを選ぶことで、長期的な効率と品質の安定を確保できます。

  • POINT02

    排出性

    排出性の良いドライポンプは、異物やガスの滞留を防ぎます。

    ガスや不純物のスムーズな排出が可能なポンプを選ぶことで、装置の安定稼働を確保し、メンテナンスの頻度を抑えることができます。

  • POINT03

    コスト

    初期コストだけでなく、ランニングコストも重要です。

    購入価格が安くても、メンテナンスや運用コストが高ければ長期的な負担が増すため、総合的なコストパフォーマンスを確認しましょう。

  • POINT04

    メンテナンス

    メンテナンスの頻度や自身で対応できるかを確認しましょう。

    メンテナンスが容易で、自社での対応が可能な機種を選ぶことで、外部業者の費用を抑えつつ、稼働停止時間を最小限にできます。

  • POINT05

    騒 音

    騒音レベルの低いドライポンプは、作業環境の快適性を向上させます。

    騒音対策が施されたモデルは、騒音によるストレスを軽減し、作業効率を高めます。静音性は選定時の重要なポイントです。

  • POINT06

    サイズ・重さ

    ドライポンプのサイズや重さは、設置スペースや移動のしやすさに影響します。

    大型で重いポンプは設置やメンテナンスが大変です。省スペースで軽量なモデルを選ぶことで、作業の手間を軽減できます。

  • POINT07

    耐久性

    高い耐久性を持つドライポンプは、厳しい作業環境でも安定した性能を発揮します。

    高負荷な環境でも安定して稼働するため、頻繁な修理や交換を避けることができ、生産性向上とダウンタイムの削減に貢献します。

  • POINT08

    振 動

    振動を抑えたドライポンプは、精密作業やデリケートな環境に最適です。

    振動が少ないモデルを選ぶことで、精密な作業や機器へのダ メージを防ぎ、作業品質や安全性を向上させます。

メディア厳選

おすすめ
ドライ真空ポンプメーカー3選

メディア厳選

用途別
おすすめドライ真空ポンプ
メーカー3選

  • 神港精機株式会社

    神港精機株式会社

    神港精機は、真空ポンプ分野で75年以上の歴史を持つ老舗メーカーです。油回転式、水封式、ドライポンプをすべて手がける国内でも希少なメーカーで、それぞれの長所と短所を熟知しているため、顧客の用途に合わせた最適な提案が可能です。

    特に、全製品を100%検査してから出荷する徹底した品質管理が魅力です。ポンプの組み合わせ技術にも優れ、様々なトラブルに対応可能。真空技術のエキスパートとして、トラブルに悩む顧客にとって「最後の砦」として信頼されています。

    POINT1

    創業75年の
    信頼と技術力

    神港精機は創業75年を超える歴史の中で、真空ポンプの技術を磨き続け、油回転式、水封式、ドライポンプをすべて手がける国内でも希少なメーカーです。

    POINT2

    出荷前の全数検査で
    確実な品質保証

    全てのポンプにおいて、1台1台出荷前に全数検査を実施。複数のポンプを組み合わせた大規模なシステムでも、徹底したチェックにより確実な品質を保証、顧客に安心を提供します。

    POINT3

    トラブルに悩む顧客の
    「最後の砦」

    用途に応じたポンプ選定や複数ポンプの組み合わせで、幅広い顧客ニーズに対応。他社製品でトラブルを抱えた顧客にも、最適な提案をし、「最後の砦」として信頼されています。

    神港精機の「SST・SSXシリーズ」は、特許取得済みのゼロエッジスクリューを採用し、逆流を防ぎながら高効率な排気を実現するドライ真空ポンプです。腐食性ガスや凝縮性ガス、粉体の吸引にも対応し、厳しいプロセス環境でも安定稼働が可能です。また、メンテナンスが簡単で、液体洗浄や溶剤洗浄をユーザー自身で行えるため、従来のような大型ポンプをメーカーへ送る手間や高額な修理費用を削減できます。多彩なオプションにも対応しており、様々な業界での用途に柔軟に対応できるのが特徴です。

    数値の表
    用途

    工場炉(焼結・脱脂・侵炭・一般熱処理)

    樹脂形成(押出機・成形機)

    化学品・食品・医薬品製造プロセス(重合・反応・脱水・乾燥・凍結乾燥など)

    シリコン単結晶引上装置

    真空洗浄装置

    特 徴

    • 01
      革新的なメンテンスシステム
    • 02
      全ての圧力領域で連続運転可能
    • 03
      ハードプロセスでも安全運転
    • 04
      ニーズに合わせてカスタム可能

    神港精機の「SSHシリーズ」は、高効率なDCブラシレスモータを搭載し、運転中に「POWER MODE」と「ECONOMY MODE」の切り替えが可能な、省エネと高性能を両立したドライ真空ポンプです。モニタリングや保護機能を内蔵したポンプコントローラーを装備し、遠隔操作や異常時の自動停止で安全性を確保。移動が容易なキャスター付きで、設置の柔軟性も高く、耐久性と操作性を兼ね備えたタフでスマートなポンプです。年間で約64,000円の節電効果や約1,400kgのCO2削減を実現する環境性能も特徴です。

    数値の表
    用途

    半導体製造、電子部品製造(蒸着、スパッタリング、エッチング、後工程装置など)

    一般産業(吸着搬送、ガス置換、封止排気、減菌など)

    研究開発(エバポレータ、環境試験機など)

    特 徴

    • 01
      省エネ・節電効果◎
    • 02
      遠隔操作可能
    • 03
      自動運転停止機能搭載
    • 04
      SSTシリーズの堅牢性をそのままに

    神港精機株式会社のおすすめ商品

    太陽電池業界

    用途:太陽電池製造装置

    粘着性の吸引物を安定的に排気し、
    ポンプ稼働中に吸気口から洗浄液を投入し、
    ポンプ内部をクリーニングすることも可能。

    当社のSSTシリーズの導入前は、直結型油回転真空ポンプを10台以上使用。稼働率の高い装置で24時間連続運転が要求される。オイル交換は100 時間に1回行い、オイルの使用量はポンプ1台で約10L。また、ポンプが3ヵ月に1回程度ロックするため、そのたびにメーカーに送りオーバーホールを実施していた。ランニングコストの高さと突発的なロックにお客様は悩まれていた。このラインに採用されたSSTシリーズにより、ランニングコストを月約150万円削減することに成功。さらには突発的なロックが無くなり、安定した操業を実現。これが真空ポンプのパイオニア、神港精機のSST/SSXシリーズの実力。

    導入前の課題

    他社製の直結型油回転ポンプを使用していたが、粘着性の吸引物が原因で頻繁にロックして いた。

    白い下向きの三角

    ソリューション

    当社のドライポンプに置き換え、粘着性の吸引物に対して安定した排気が可能となった。オイル代、交換作業、メンテナンス代などの日々のランニングコストを大幅にカットすることに成功した

    会社概要

    会社名
    神港精機株式会社
    住所
    〒651-2271 兵庫県神戸市西区高塚台3-1-35
    電話番号
    078-991-3011
  • 株式会社アルバック

    株式会社アルバック

    アルバックは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。幅広い業界で実績があり、多用途に対応できるラインナップが特徴。腐食性ガスや粉体の排気に対応した製品も取り揃えており、過酷な環境下での使用にも適しています。また、環境への配慮や運用コスト削減の観点からも、省エネに優れたモデルを展開。長年にわたる技術開発と多様なニーズに応える製品ラインナップにより、幅広い業界で採用されています。

    POINT1

    多様な真空技術を
    総合的に提供

    アルバックは、真空装置やコンポーネント、材料、分析機器など、幅広い業界向けに多様な真空技術を総合的に提供しています。変革の時代に迅速に対応し、新たな価値創造を目指してイノベーションを推進しています。

    POINT2

    長年にわたる
    技術開発

    真空技術の開発において長年にわたる研究と実績を積み重ねてきたアルバックは豊富な経験をもとに、油回転ポンプやドライポンプなど幅広い製品ラインを展開し、高い信頼性と性能を提供することで、産業の発展に貢献しています。

    POINT3

    真空技術を
    幅広い業界へ

    液晶フラットパネルディスプレイや半導体・電子部品向けに加え、自動車・食品・医薬品といった一般産業機器向けまで対応し、それぞれのニーズに合わせた最先端の技術を提供することにより、産業と科学の発展に貢献しています。

    株式会社アルバックのおすすめ商品

    アルバックの「LSシリーズ」は、生産工程の効率化とコスト削減に貢献するドライ真空ポンプです。大気圧付近での排気速度が速いため、排気時間を従来比で20%短縮可能です。さらに、ECO-SHOCK技術を搭載したC仕様では、消費電力を0.6kW以下に抑え、エネルギーコストを削減できます。また、騒音を61dB(A)以下に抑えた静音設計や、軸シールガス不要の構造により、ランニングコストも削減可能です。クリーンプロセス向けのC仕様やライトプロセス向けのL仕様があり、多様な製造現場に適した選択肢を提供します。

    数値の表
    用途

    C仕様:クリーンプロセス(LS***A-C)

    エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け

    スパッタリング/烝着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助 等々

    L仕様:ライトプロセス(LS***A-L)

    水蒸気や揮発性薬液排気等のライトプロセス向け

    真空乾燥/凍結乾燥/アッシング/一般産業用途 等々

    特 徴

    • 01
      高速排気/低消費電力
    • 02
      到達圧力時の騒音値:61db(A)
    • 03
      C仕様:クリーンプロセス用
    • 04
      L仕様:ライトプロセス用

    アルバックの「MSシリーズ」は、腐食性ガスや粉体排気を伴う真空プロセスに対応した耐プロセス型のスクリュー式ドライ真空ポンプです。ロータシャフトやシリンダー等の主要部材に特殊表面処理を施し、耐食性を向上。また、独自設計のスクリュー型ロータシャフトにより、粉体排出性も高めています。大気圧から到達圧力までの全圧力領域で連続運転が可能で、半導体製造やリチウム電池製造、医療・食品関連の真空排気系等に幅広く使用されています。

    数値の表
    用途

    電子部品、半導体製造装置の真空排気系

    (エッチング装置、アッシング装置、プラズマクリーニング装置など)

    真空熱処理炉の真空排気系(焼結炉、侵炭炉など)

    リチウム電池製造装置の真空排気系(電極乾燥装置、脱泡装置、注液装置など)

    医療、食品関連装置の真空排気系(凍結乾燥装置、真空乾燥装置など)

    特 徴

    • 01
      高い耐食性能
    • 02
      高い粉体排出性能
    • 03
      全圧力領域で連続運転可能
    • 04
      スクリュー型ドライ真空ポンプ

    株式会社アルバックのドライ真空ポンプ導入事例

    導入事例は見つかりませんでした

    会社概要

    会社名
    株式会社アルバック
    住所
    〒253-8543 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500
    電話番号
    0467-89-2033
  • 樫山工業株式会社

    樫山工業株式会社

    樫山工業は、長年培ってきた真空技術に基づき、幅広い分野で高い信頼を得ています。特に、半導体製造プロセスにおいてスタンダードとなっている一連のドライポンプのシリーズは、この真空技術の集大成ともいえる製品で、最も困難なプロセスで最も優れた信頼性を発揮するとお客様から高い評価を得ています。
    また、ドライポンプに加え、メカニカルブースタポンプや真空排気装置も取り揃え、多分野でその技術力を発揮。先端技術と信頼性で、各産業のニーズに応え続けています。

    POINT1

    徹底した
    顧客第一主義

    樫山工業は、基幹事業である真空機器事業において、お客様が望むものを望むカタチで提供する、徹底した顧客第一主義のもと、お客様の利益に貢献することで、より一層の信頼向上に努めています。

    POINT2

    各産業の
    ニーズに対応

    各産業のプロセスに合わせた多彩な製品・幅広いニーズに応えるラインナップを展開。ドライポンプだけでなく、メカニカルブースタポンプ、真空排気装置等、樫山の真空技術が生み出す製品群は、多分野で威力を発揮しています。

    POINT3

    信頼性の高い
    樫山のドライポンプ

    長年にわたって真空技術を磨き上げ、多くの業界で信頼される製品を提供しています。特に半導体分野において、厳しいプロセス条件でも高い信頼性を発揮するドライ真空ポンプシリーズは、その技術の集大成となっています。

    樫山工業株式会社のおすすめ商品

    樫山工業のSDシリーズは、プロセス耐性と進化を追求したドライ真空ポンプで、幅広い温度バリエーションにより多様なプロセスに対応可能です。新たなヒータシステムの採用により、プロセス耐性をさらに強化。また、従来製品に比べて35%のフットプリント削減を実現し、20000L/minクラスで世界最小のコンパクト設計を誇ります。さらに、低消費電力設計やSEMI、CE、NRTLなどの各種規格に対応し、安全性を最優先に設計された高信頼性の製品です。

    数値の表
    用途

    使用用途は見つかりませんでした

    特 徴

    • 01
      世界最小のフットプリント
    • 02
      プロセス耐性
    • 03
      各種要求規格に適合した製品
    • 04
      低電力化を実現

    樫山工業のNeoDry Gシリーズは、6年に1度のメンテナンスサイクルを実現(大気・N₂吸引時推奨期間)し、長期間の安定運転を可能にしたドライ真空ポンプです。100V・200Vのどちらでも対応可能なワイド入力電源仕様により、様々な電力環境に対応可能。無負荷時の運転音は45db(36Gは51db)と業界最小値を誇る静音性。さらに、空冷FAN制御によりポンプ温度を最適化し、水蒸気処理量が従来比で10%向上。IEC電源コネクタやRS485通信機能も搭載し、国際規格に対応する高性能な製品です。

    数値の表
    用途

    使用用途は見つかりませんでした

    特 徴

    • 01
      冷空式ドライポンプ
    • 02
      静音化・温度最適化
    • 03
      IEC 電源コネクタ採用
    • 04
      シリアル通信機能設備

    樫山工業株式会社のドライ真空ポンプ導入事例

    導入事例は見つかりませんでした

    会社概要

    会社名
    樫山工業株式会社
    住所
    〒385-8511  長野県佐久市根々井1-1
    電話番号
    0267-67-3311
ドライ真空ポンプメーカー一覧

ドライ真空ポンプ
メーカー一覧

  • 会社名
    神港精機株式会社
    所在地
    〒651-2271
    兵庫県神戸市西区高塚台3丁目1番35号
    電話番号
    078-991-3011
  • 会社名
    株式会社アルバック
    所在地
    〒253-0071
    神奈川県茅ヶ崎市萩園2500
    電話番号
    0467-89-2033
  • 会社名
    樫山工業株式会社
    所在地
    〒385-8511
    長野県佐久市根々井1-1
    電話番号
    0267-67-3311
  • 会社名
    株式会社荏原製作所
    所在地
    〒144-8510
    東京都大田区羽田旭町11-1
    電話番号
    03-3743-6111
  • 会社名
    アネスト岩田株式会社
    所在地
    〒223-8501
    神奈川県横浜市港北区新吉田町
    3176番地
    電話番号
    045-591-1111
  • 会社名
    ライボルト株式会社
    所在地
    〒222-0033
    神奈川県横浜市港北区新横浜3-23-3
    新横浜AKビル
    電話番号
    045-471-3330
  • 会社名
    エドワーズ株式会社
    所在地
    〒276-0047
    千葉県八千代市吉橋1078-1
    電話番号
    047-458-8822
  • 会社名
    株式会社アンレット
    所在地
    〒497-0030
    愛知県海部郡蟹江町宝1丁目25番地
    電話番号
    0567-95-1211
  • 会社名
    大晃機械工業株式会社
    所在地
    〒742-1598
    山口県熊毛郡田布施町大字下田布施209-1
    電話番号
    0820-52-3111
  • 会社名
    日本ブッシュ株式会社
    所在地
    〒259-1220
    神奈川県平塚市めぐみが丘1-23-33
    電話番号
    0120-896-111
  • 会社名
    株式会社宇野澤組鐵工所
    所在地
    〒146-0092
    東京都大田区下丸子二丁目36-40
    電話番号
    03-3759-8101
  • 会社名
    オリオン機械株式会社
    所在地
    〒382-8502
    長野県須坂市大字幸高246
    電話番号
    026-245-1230
  • 会社名
    ヤマト科学株式会社
    所在地
    〒104-6136
    東京都中央区晴海1-8-11
    晴海トリトンスクエア Y棟36階
    電話番号
    0120-405-525
  • 会社名
    佐藤真空株式会社
    所在地
    〒354-0041
    埼玉県入間郡三芳町藤久保1036番地
    電話番号
    049-258-1116
  • 会社名
    ベッカーエアーテクノ株式会社
    所在地
    〒108-0073
    東京都港区三田3-14-10 三田3丁目
    MTビル6F
    電話番号
    03-5418-5131