真空ポンプは種類が多いため、どれを選べばいいのかわからない人もいるでしょう。
真空ポンプは、どのくらいの圧力で真空状態にしたいのか、どの業界の研究や開発に使うのか、といった条件を明確にしたのちに使うべきものを選ぶ必要があります。
そこで本記事では、最適な真空ポンプを選ぶために、研究や開発を行う業界ごとの用途に応じた真空ポンプの種類について解説します。真空ポンプの導入を検討してる方は、ぜひ参考にしてみてください。
さらに、ドライポンプを取り扱うメーカーもご紹介しますので、導入を検討している方はぜひ参考にしてください。
真空ポンプとは

真空ポンプとは、空間を大気圧以下の真空状態にする装置です。大気圧よりも低気圧にするため、空間の空気を外へ送り出し一定の気圧を維持します。
真空ポンプを使う身近な例として、食品の包装や乾燥があります。真空にすれば、酸素濃度が低い状態を維持できるため、食べ物の酸化を防ぎ、長期保存が可能です。
加えて、食べ物を凍らせて真空の空間に置くと水分を抜き取れるため、品質や味を損なうことがありません。熱を加えると劣化しやすい食材でも簡単に乾燥させる技術にも真空ポンプが利用されます。
また、半導体製造でも真空ポンプは利用されるものの、食品の包装よりも空間の空気をより外へ排出し低気圧下で扱わなければなりません。
そこで、真空状態を区分するため、真空は気圧の違いにより次の5段階に分類されます。
・低真空
・中真空
・高真空
・超高真空
・極高真空
超高真空に近づくほど、高性能な真空ポンプが必要です。そのため、真空の状態に合う真空ポンプを選択しなければ、目的の真空状態を実現できません。
真空ポンプの仕組みと排気の基本原理をわかりやすく解説

真空ポンプは、単に空気を吸い出す装置ではなく、圧力差を利用して空間内の気体を段階的に排出し、目的に応じた真空状態を作り出す装置です。真空度や用途によって採用される方式が異なり、仕組みを正しく理解することは、適切な機種選定や安定運用につながります。
こちらでは、真空ポンプの排気の考え方と基本原理について整理します。
真空ポンプは「吸う装置」ではなく「排気する装置」
真空ポンプは、一般的に空気を吸い込む装置として理解されがちですが、正確には空間内の気体を外部へ排出し、結果として圧力を下げる装置です。大気圧下では空間内に多数の気体分子が存在しており、これらを連続的に外部へ移動させることで真空状態が形成されます。
重要なのは、真空とは「何もない状態」ではなく、「気体分子の密度が低い状態」である点です。真空ポンプは、この密度を用途に応じて制御する役割を担っています。
圧力差を利用した排気の基本的な考え方
真空ポンプの排気は、圧力差を利用して行われます。ポンプ内部で空間の体積を変化させたり、分子の運動方向を制御したりすることで、空間内の気体を外部へ移動させます。大気圧と真空側の圧力差が大きいほど排気は進みやすく、圧力が下がるにつれて排気効率は低下します。
このため、真空度が高くなるほど、単一の方式では対応が難しくなり、複数のポンプを組み合わせた構成が採用されることがあります。
容積移送式ポンプの仕組み

容積移送式ポンプは、一定の容積を持つ空間を機械的に変化させることで気体を移動させる方式です。代表的なものに油回転真空ポンプやドライ真空ポンプがあります。内部で密閉された空間を作り、その体積を縮小することで気体を押し出す構造を持ちます。
この方式は構造が比較的シンプルで、低真空から中真空領域において安定した排気性能を発揮します。一方で、真空度が高くなると内部漏れや構造上の制約により、排気効率が頭打ちになる傾向があります。
運動量移送式ポンプの仕組み
運動量移送式ポンプは、気体分子に直接運動エネルギーを与え、特定方向へ移動させることで排気を行う方式です。ターボ分子ポンプや油拡散ポンプが代表例です。高速回転する羽根や噴射される蒸気流によって分子の進行方向を制御し、真空側から排気側へ移動させます。
この方式は高真空域で優れた性能を発揮しますが、分子密度が高い低真空状態では効果が出にくいため、事前に容積移送式ポンプで真空度を下げておく必要があります。
真空度によって方式が使い分けられる理由
真空度が低い段階では、空間内に多くの気体分子が存在しているため、容積移送式ポンプでも効率よく排気できます。しかし、真空度が上がるにつれて分子同士の衝突が減り、単純な体積変化だけでは排気が進みにくくなります。この領域では、分子一つひとつの運動を制御できる運動量移送式ポンプが有効になります。
この特性の違いから、真空システムでは複数のポンプを段階的に組み合わせる構成が一般的に採用されています。
単体運転と複合運転の違い

低真空用途では、真空ポンプを単体で運転するケースも多く見られます。一方、高真空や安定した排気速度が求められる用途では、複合運転が基本となります。例えば、油回転真空ポンプで予備排気を行い、その後にターボ分子ポンプを稼働させることで、効率よく高真空を実現します。
複合構成は設備コストが上がる反面、到達真空度や排気安定性の面で大きなメリットがあります。
仕組み理解が選定と運用に与える影響
真空ポンプの仕組みを理解していないと、必要以上に高性能な機種を選定したり、逆に用途に対して性能不足のポンプを導入したりするリスクがあります。また、排気原理を把握していれば、起動手順や停止手順、メンテナンス計画の重要性も理解しやすくなります。
真空ポンプは単なる設備ではなく、工程全体の品質や安定性を左右する要素であるため、仕組みの理解は適切な導入と長期運用に直結します。
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真空ポンプの種類

ここからは、真空ポンプの種類を5つにまとめて解説します。
油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプは低真空~高真空を実現する際に使用する真空ポンプであり、食品や医療分野で利用されることが数多くあります。
油回転真空ポンプの特徴は耐久性に優れ、比較的長期的に使用できることです。加えて、油回転真空ポンプの排気口にオイルミストトラップをつけると、運転中や使用後に出るオイルを除去できるため、メンテナンスが容易になります。
また、油回転ポンプは構造の違いにより、揺動ピストン型と回転翼型があることを念頭におくことが賢明です。
ドライ真空ポンプ

ドライ真空ポンプは、主に低真空を実現する際に使用されて、医療機器・フィルム吸着・理化学分析機器に利用されます。
油や液体を使用せずに空間から空気を外へ排出できることから、きれいな真空状態を作れるため、さまざまな分野で使用されており、用途が多いことでも有名です。
加えて、ドライ真空ポンプにはダイヤフラム型やスクロール型、ルーツ型などさまざまな構造のものがあることも覚えておきましょう。
メカニカルブースターポンプ

メカニカルブースターポンプは、主に中真空を実現する時に使用されて、脱ガスや真空乾燥などの用途で利用されます。
メカニカルブースターポンプの特徴は、排気性能に優れて長寿命であることです。操作や保守が容易であるうえに低振動であるため、利用しやすい真空ポンプです。
油拡散ポンプ

油拡散ポンプは、主に高真空を実現する際に使用され、半導体製造装置や殺菌・乾燥・脱水などの用途で利用されます。
油拡散ポンプの特徴は排気速度が大きく、ヒーターの寿命が長いことです。
また、構造の違いにより、標準型とサイドエゼクタ型があります。
ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプは、主に高真空を実現する際に使用し、半導体製造装置や分析装置に利用されます。
ターボ分子ポンプの特徴は排気速度が一定であり、連続した排気ができることです。ただし、ターボ分子ポンプは中真空程度まで真空状態にしてから使用する必要があるため、油回転ポンプやドライ真空ポンプと併用しなければならないことを念頭におきましょう。
用途別に見る真空ポンプの使い分け

真空ポンプは、同じ装置名称であっても用途によって求められる性能や構造が大きく異なります。真空度だけでなく、処理対象や運転条件を考慮せずに選定すると、性能不足や過剰投資につながるおそれがあります。
こちらでは、代表的な利用分野ごとに、真空ポンプがどのように使い分けられているのかを整理し、適切な選定の考え方を解説します。
食品・包装分野における真空ポンプの使い分け
食品の包装や保存工程では、酸化防止や品質保持を目的として真空ポンプが使用されます。この分野では、極端に高い真空度よりも、安定した低真空から中真空の維持が重視されます。油回転真空ポンプは導入コストと排気能力のバランスが良く、食品包装ラインで広く採用されています。
一方、衛生管理が厳しい現場では、オイルを使用しないドライ真空ポンプが選ばれるケースも増えています。異物混入や臭気のリスクを抑えられる点が評価されています。
医療・理化学分野で求められる真空性能
医療機器や理化学分析装置では、クリーン性と安定した排気性能が重要視されます。試料分析や装置内部の環境制御では、油の飛散や蒸気の混入が測定精度に影響を与えるため、ドライ真空ポンプが多く用いられます。
用途によっては中真空領域まで対応できれば十分な場合もあり、過度な高真空性能よりも、信頼性と再現性を重視した選定が行われます。
半導体・電子部品製造における使い分け
半導体や電子部品の製造工程では、高真空から超高真空が必要とされる工程が多く存在します。この分野では、ターボ分子ポンプや油拡散ポンプが主力となります。ただし、これらのポンプは低真空状態では十分な性能を発揮できないため、油回転真空ポンプやドライ真空ポンプを組み合わせた複合構成が一般的です。
工程の安定性と再現性が製品品質に直結するため、冗長構成や保守体制を含めたシステム設計が重視されます。
真空成形・樹脂加工分野での選定ポイント

真空成形や樹脂脱泡工程では、比較的低真空から中真空が使用されます。成形スピードや処理量が重視されるため、排気速度に優れた油回転真空ポンプやメカニカルブースターポンプが選ばれることがあります。
特に脱泡工程では、短時間で効率よく空気を除去できるかどうかが重要となり、単体運転ではなくブースターポンプを組み合わせた構成が採用されるケースも見られます。
乾燥・脱水工程での真空ポンプの役割
真空乾燥や脱水工程では、温度を上げずに水分を除去できる点が真空の大きな利点です。この用途では、安定した真空状態を長時間維持できることが求められます。油回転真空ポンプは耐久性に優れており、連続運転が必要な現場で多く利用されています。
一方、処理物に油分の付着を避けたい場合や、装置内部の清浄度を保ちたい場合にはドライ真空ポンプが選ばれます。
用途ごとに重視すべき判断軸
真空ポンプの使い分けでは、真空度だけでなく、処理対象の性質、運転時間、メンテナンス頻度などを総合的に考慮する必要があります。例えば、水分や粉体を多く含む工程では、ポンプ内部の汚染や劣化リスクを踏まえた選定が欠かせません。
また、連続運転が前提となる設備では、耐久性や保守のしやすさが重要な判断材料となります。用途に応じた使い分けを行うことで、無駄なコストを抑えながら安定した運用が実現します。
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真空ポンプの種類の選び方は?

真空ポンプにはさまざまな種類があり、用途や求める真空度・処理環境によって最適なタイプが異なります。
選び方を誤ると、必要な性能が得られなかったり、メンテナンス負担やコストが増大する可能性もあります。そのため、導入前に「どのような目的で使うのか」「どんな条件で稼働させるのか」を明確にすることが大切です。
ここでは、真空ポンプを選ぶ際に確認しておきたい2つの基本ポイントを紹介します。
以下で詳しく解説します。
目的に応じた真空度を把握する
真空ポンプの選定で最初に考えるべきなのは、必要な真空度(圧力レベル)です。用途によって求める真空レベルは大きく異なります。
・低真空(10⁵〜10²Pa):真空成形・乾燥・包装など
・中真空(10²〜10⁻¹Pa):蒸着・樹脂脱泡・実験装置
・高真空(10⁻¹Pa以下):半導体・電子部品製造など
一般的に、低〜中真空ではドライポンプやロータリーベーンポンプが使用され、高真空域ではターボ分子ポンプやクライオポンプが選ばれます。用途を明確にすることで、必要以上に高性能な機種を選んでコストをかけすぎることも防げるでしょう。
メンテナンス性とコストバランスを考慮する

真空ポンプは長期運用が前提の設備であり、維持費やメンテナンスのしやすさも重要な判断基準です。
オイル式ポンプは初期コストが低い一方、定期的なオイル交換が必要でランニングコストがかかります。対して、ドライポンプはメンテナンス頻度が少なく、クリーンで扱いやすい反面、導入費が高めです。
また、部品供給やアフターサポート体制もメーカーによって異なるため、保守体制を確認しておくことが大切です。コストだけでなく、長期的な運用効率と安定性を踏まえて選ぶことで、結果的にコスパの高い導入が実現します。
真空ポンプ選定でよくある失敗・注意点

真空ポンプは用途や真空度に応じて適切に選定しなければ、本来の性能を十分に発揮できません。仕様表の数値だけを基準に選んでしまうと、導入後にトラブルや想定外のコストが発生するケースもあります。
こちらでは、真空ポンプ導入時に起こりやすい失敗例と、その回避に向けて押さえておきたい注意点を整理します。
真空度だけを基準に選定してしまう失敗
真空ポンプ選定で多いのが、必要な真空度だけを見て機種を決めてしまうケースです。確かに真空度は重要な指標ですが、それだけでは十分とは言えません。例えば、高真空に対応したポンプを導入しても、実際の工程でそこまでの真空度を必要としない場合、過剰な設備投資となる可能性があります。
また、到達真空度だけでなく、排気速度や安定性も考慮しなければ、実運用で期待した性能が得られないことがあります。
◇処理物の性質を考慮しないリスク

真空ポンプが扱うのは空気だけとは限りません。工程によっては、水分、粉体、溶剤蒸気、腐食性ガスなどが混入することがあります。これらを考慮せずにポンプを選定すると、内部の劣化や故障を早める原因になります。
特に油回転真空ポンプでは、処理物の影響でオイルの劣化が進みやすくなり、性能低下やメンテナンス頻度の増加につながります。処理対象の特性を事前に整理し、それに適した構造のポンプを選ぶことが重要です。
運転条件を想定していない導入の問題
真空ポンプは、連続運転か断続運転かによって適した機種が異なります。短時間運転を前提としたポンプを長時間稼働させると、過熱や部品の早期摩耗を引き起こすおそれがあります。
また、起動回数が多い環境では、起動負荷に耐えられる設計かどうかも確認が必要です。運転時間や稼働頻度を想定せずに導入すると、想定よりも早く性能低下が発生する可能性があります。
メンテナンス体制を軽視した選定
初期費用を抑えることを優先し、メンテナンス体制を十分に確認しないまま導入するケースも見られます。真空ポンプは消耗部品を含む設備であり、定期的な点検や部品交換が前提となります。部品供給が不安定なメーカーや、サポート拠点が限られている場合、故障時の復旧に時間がかかることがあります。
結果として、設備停止による影響が大きくなり、トータルコストが増加する可能性があります。
将来的な拡張や変更を見据えない判断
導入時点の用途だけを基準に選定すると、将来的な工程変更や生産量増加に対応できないことがあります。真空ポンプの能力に余裕がない場合、後から設備を追加する必要が生じることもあります。
一方で、拡張性を意識しすぎて過剰な性能を持つ機種を選ぶと、コスト面での負担が大きくなります。将来の運用をある程度見据えたうえで、現実的なバランスを取ることが重要です。
失敗を防ぐために押さえておきたい視点
真空ポンプ選定の失敗を防ぐためには、真空度、処理物、運転条件、メンテナンス体制を総合的に確認することが欠かせません。単一の指標に頼らず、工程全体を俯瞰したうえで判断することで、安定した運用とコスト最適化の両立が可能になります。事前の情報整理とメーカーへの相談を通じて、用途に合った選定を行うことが重要です。
真空ポンプに関するよくある質問(FAQ)

真空ポンプは専門性の高い設備であるため、導入や運用を検討する過程でさまざまな疑問が生じやすい装置です。真空度や種類の違いは理解していても、実際の運用や管理に関する不安を抱えるケースも少なくありません。
こちらでは、真空ポンプについて特によく寄せられる質問を取り上げ、実務の視点から整理して解説します。
1台の真空ポンプで低真空から高真空まで対応できるか
原則として、1台の真空ポンプですべての真空領域に対応することは難しいとされています。低真空から中真空までは油回転真空ポンプやドライ真空ポンプで対応できますが、高真空以上の領域ではターボ分子ポンプや油拡散ポンプが必要になります。
高真空用ポンプは単体では機能しない場合が多く、予備排気用のポンプと組み合わせた複合構成が一般的です。用途に応じて段階的に真空度を下げる設計が求められます。
中古の真空ポンプを導入しても問題はないか
中古の真空ポンプは初期コストを抑えられる点で魅力がありますが、導入には慎重な判断が必要です。使用履歴やメンテナンス状況が不明な場合、性能低下や早期故障のリスクがあります。
特にオイル式ポンプでは、内部の摩耗やオイル劣化が進んでいる可能性もあります。中古品を検討する場合は、整備履歴の確認やオーバーホール実施の有無を把握したうえで、用途に見合った状態かどうかを見極めることが重要です。
真空ポンプの電気代はどの程度かかるか

真空ポンプの電気代は、モーター出力、運転時間、運転方式によって大きく異なります。連続運転が前提の設備では、消費電力がランニングコストに直結します。
一方、断続運転の場合は起動回数による負荷も考慮が必要です。高真空用ポンプは消費電力が大きくなる傾向があるため、必要以上の性能を選ばないことがコスト管理の面で重要になります。導入時には、想定運転時間をもとに年間コストを試算しておくと判断しやすくなります。
メンテナンス頻度はどれくらい必要か
真空ポンプのメンテナンス頻度は、種類や使用環境によって異なります。油回転真空ポンプでは、定期的なオイル交換やフィルター清掃が必要となり、使用条件によっては短い間隔での対応が求められます。ドライ真空ポンプはオイル交換が不要な分、日常管理の負担は軽減されますが、内部部品の摩耗や劣化に対する点検は欠かせません。
いずれの場合も、メーカーが推奨する保守計画に沿った管理が安定運用につながります。
真空ポンプは連続運転に向いているか
多くの真空ポンプは連続運転を想定して設計されていますが、すべての機種が長時間運転に適しているわけではありません。連続運転を行う場合は、冷却方式や耐久性を確認する必要があります。
連続稼働が前提の工程では、産業用途向けとして設計されたモデルを選定することで、過熱や部品摩耗のリスクを抑えられます。運転条件を明確にしたうえで、仕様に適合するかどうかを確認することが重要です。
真空ポンプの寿命はどの程度か
真空ポンプの寿命は、使用頻度や運転条件、メンテナンス状況によって大きく左右されます。適切な保守が行われている場合、長期間にわたり安定した性能を維持できるケースもあります。
一方、過負荷運転や不適切な使用環境では、想定よりも早く性能低下が起こることがあります。寿命を延ばすためには、仕様に合った運用と定期的な点検が欠かせません。
導入前に確認しておきたいポイント

真空ポンプ導入前には、真空度、処理対象、運転時間、設置環境、メンテナンス体制といった要素を整理しておくことが重要です。これらを事前に把握することで、導入後のトラブルや追加コストを回避しやすくなります。
FAQとして挙げられる疑問の多くは、事前検討を丁寧に行うことで解消できるものが多く、導入準備の重要性を示しています。
真空ポンプを製造する企業の選び方

真空ポンプは、用途や目的によって求められる性能が大きく異なります。そのため、導入時に「どのメーカーを選ぶか」は、製品の信頼性やメンテナンス性、長期コストに直結する重要な要素です。
メーカーごとに得意とする産業分野やサポート体制が異なるため、自社の運用環境やニーズを踏まえて比較検討することが欠かせません。ここでは、真空ポンプメーカーを選ぶ際に特に注目すべき3つのポイントを紹介します。
以下で詳しく解説します。
用途・産業分野に合った専門性を持つメーカーを選ぶ
真空ポンプは、産業分野によって求められる性能が大きく異なります。例えば、半導体や電子部品製造には高真空・クリーン性を重視したポンプ、化学・医薬品業界では耐食性や耐薬品性を備えたモデルが求められます。
また、食品や医療用途ではオイルを使わないドライタイプが適しています。メーカーごとに得意とする技術領域が異なるため、過去の導入実績や提供している製品ラインナップを確認しましょう。
自社の使用目的に特化した製品を持つメーカーを選ぶことで、性能面だけでなくコストやメンテナンスの面でもメリットを得られます。
導入後のメンテナンスや部品供給体制を重視する
真空ポンプは長期間稼働させる設備であり、導入後のメンテナンス体制や部品供給の安定性が非常に重要です。
特に、海外メーカーの場合は部品調達に時間がかかることがあり、ダウンタイムが発生するリスクもあります。メーカー選定の際は、国内にサービス拠点があるか、定期点検・修理対応の体制が整っているかを確認しましょう。
定期的な保守契約や長期保証サービスを提供しているメーカーを選ぶことで、安心して運用を続けることができるでしょう。
複数社を比較検討して選ぶ

メーカーを選定する際は、1社だけで判断せず複数社の製品・サービスを比較することが基本です。真空度や排気速度、耐久性、導入コスト、メンテナンス性などの要素を総合的に評価しましょう。
特に、似たスペックでもメーカーごとに設計思想や耐用年数、サポート対応の質に違いがあります。
比較を通じて、自社の目的に最も合うメーカーを選ぶことで、長期的なコストパフォーマンスと運用の安定性を両立させることができます。
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真空ポンプを製造するおすすめ企業11選

真空ポンプを導入・比較検討する際には、メーカーごとの強みや取扱製品の種類を把握することが重要です。たとえば、半導体向けの高真空モデルに強いメーカーもあれば、化学・医療・食品業界向けの省エネモデルを展開している企業もあります。
ここでは、国内外で高いシェアを誇る主要メーカーを一覧にまとめました。会社の所在地・主な取扱ポンプ・特徴を比較することで、自社のニーズに合った製品選びの参考にしてください。
| 会社名 | 所在地 | 主な取扱ポンプ | 特徴・注目ポイント | 公式サイト |
|---|---|---|---|---|
| 神港精機株式会社 | 兵庫県神戸市西区高塚台3-1-35 | ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、水封式真空ポンプ、メカニカルブースター、油拡散ポンプ | 国内ドライポンプ分野トップシェア。環境配慮型技術とIoT連携開発を推進中。 | 公式サイト |
| 樫山工業株式会社 | 長野県佐久市根々井1-1 | ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、水封式、メカニカルブースター | 国内初のドライポンプ開発企業。用途別・性能別に豊富なラインアップ。 | 公式サイト |
| 株式会社アルバック | 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500 | ドライ、油回転、メカニカルブースター、クライオポンプ、ターボ分子ポンプ、スパッタイオンポンプ | 真空機器総合メーカー。グローバル展開と技術力の高さが強み。 | 公式サイト |
| エドワーズ株式会社 | 千葉県八千代市吉橋1078-1 | ドライポンプ、ターボ分子ポンプ、排ガス処理装置 | 英国発グローバル企業。研究から量産まで幅広く対応。環境対応製品も展開。 | 公式サイト |
| 株式会社アンレット | 愛知県海部郡蟹江町宝1丁目25番地 | ドライルーツ式真空ポンプ(多段式) | オイルレス・クリーン。特許技術「エンドレス方式」で低騒音・高効率を実現。 | 公式サイト |
| 大晃機械工業株式会社 | 山口県熊毛郡田布施町下田布施209-1 | 水封式・液封式真空ポンプ | 船舶・プラント向けに強み。堅牢設計とカスタム対応が特長。 | 公式サイト |
| 株式会社荏原製作所 | 東京都大田区羽田旭町11-1 | ドライ真空ポンプ、ターボ分子ポンプ | 世界的な流体機器メーカー。省エネ・低振動設計と技術力が強み。 | 公式サイト |
| アネスト岩田株式会社 | 神奈川県横浜市港北区新吉田町3176 | ドライスクロール真空ポンプ | オイルレス・静音・省スペース。医療・研究分野で高評価。 | 公式サイト |
| 日本ブッシュ株式会社 | 神奈川県平塚市めぐみが丘1-23-33 | ロータリーベーン、スクリュー、クロー、リキッドリング真空ポンプ | ドイツBuschグループ。グローバル品質と日本市場に密着したサポート体制。 | 公式サイト |
| 株式会社宇野澤組鐵工所 | 東京都大田区下丸子2丁目36-40 | 液封式・水封式真空ポンプ | 日本最古級メーカー。堅実設計と長期サポート体制が強み。 | 公式サイト |
| オリオン機械株式会社 | 長野県須坂市大字幸高246 | ドライ・オイル・水封式真空ポンプ | 総合流体機器メーカー。静音・省エネ・クリーン対応モデルを多展開。 | 公式サイト |
各社の取り組みや製品ラインアップは異なるため、使用目的や導入環境に合わせた選定がポイントです。以下でそれぞれの会社について、より詳しく解説します。
神港精機株式会社

神港精機株式会社は、ドライポンプ製造分野で国内トップシェアを誇るメーカーです。創業以来、真空装置の専門メーカーとして培ってきた技術力と、顧客ニーズに応える製品開発力により、確固たる地位を築いています。
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 会社名 | 神港精機株式会社 |
| 設立 | 昭和24年1月24日 |
| 住所 | 神戸市西区高塚台3丁目1番35号 |
| HP | https://www.shinko-seiki.com/ |
近年は、グローバル展開の一環としてインド市場への参入を強化し、さらなる技術革新と市場拡大を目指しています。また、持続可能な社会の実現に向けて、環境負荷を低減する新世代の真空技術開発にも積極的に取り組んでいます。
同社のドライポンプは、優れた性能と高い信頼性に加え、環境配慮型設計を特徴としており、半導体や電機、化学など幅広い産業分野で高い評価を得ています。IoTやAIの進展に伴い、真空技術の需要は今後さらに拡大すると予測されています。
神港精機は創業以来、ドライポンプの販売数を増やしつづけているものの、次のような真空ポンプの製造・販売もしています。
- ドライ真空ポンプ
- メカニカルブースターポンプ
- 油拡散ポンプ
- 水封式真空ポンプ
- 油回転真空ポンプ
神港精機のドライポンプは高い性能と信頼性、そして環境への配慮を兼ね備えた製品です。さまざまな産業において、その高い性能が評価されており、今後もますます需要が拡大していくことが期待されます。
真空の状態や排気速度の違いによりさまざまな種類があるため、購入の際は最適な製品を問い合わせるのが賢明です。
また、神港精機についてもっと気になる人は実際にお問い合わせしてみてはいかがでしょうか。
また、以下の記事にて神港精機について書いているので、参考にしてみてください。

樫山工業株式会社

樫山工業株式会社は、国内初のドライ真空ポンプを販売した真空ポンプの製造メーカーです。
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 会社名 | 樫山工業株式会社 |
| 会社住所 | 長野県佐久市根々井1-1 |
| 創業年数 | 昭和26年 |
| 公式サイト | https://www.kashiyama.com/ |
ドライ真空ポンプを主力として、次のような真空ポンプの製造・販売を行います。
- ドライ真空ポンプ
- 油回転真空ポンプ
- 水封式真空ポンプ
- メカニカルブースターポンプ
樫山工業株式会社では、公式ホームページ上でドライ真空ポンプを『用途で選ぶ』または『性能で選ぶ』といったタブ分けがされています。
しかし、製品が豊富にあるため、相談したい場合には公式ホームページの右上『問い合わせ』から必要事項を入力し送信すると、連絡がもらえます。
また、以下の記事では樫山工業の製品や特徴について紹介しているので、参考にしてください。

アルバック株式会社

株式会社アルバックは、真空技術の潜在・顕在ニーズに応えるべく革新的・先進的な技術開発を続ける真空ポンプ製造メーカーです。
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 会社名 | 株式会社アルバック |
| 会社住所 | 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 |
| 創業年数 | 昭和27年 |
| 公式サイト | https://www.ulvac.co.jp/ |
国内以外にも東アジアや欧米で製造・販売を行うネットワークを構築しています。
株式会社アルバックは真空機器の総合メーカーであり、半導体や自動車といった産業向けの製造で用いる真空装置で高いシェアを誇るものの、次のような真空ポンプを製造・販売しています。
- 油回転真空ポンプ
- ドライ真空ポンプ
- メカニカルブースターポンプ
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- スパッタイオンポンプ
株式会社アルバックでは装置や機器に故障が起きた場合、最寄りの支店からサービスエンジニアを派遣し復旧を行う緊急対応システムがあるため、万が一の時にでも安心できます。
また、以下の記事ではアルバックの製品や特徴について紹介しているので、参考にしてください。
エドワーズ株式会社

エドワーズ株式会社は、英国発のグローバル企業で、真空技術の分野において世界有数の実績を持つ専門メーカーです。
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 会社名 | エドワーズ株式会社 |
| 住所 | 本社・八千代工場:千葉県八千代市吉橋1078-1 |
| 電話番号 | 047-458-8822 |
| 公式HP | https://www.edwardsvacuum.com/ja-jp |
半導体やフラットパネル、LED、太陽電池といった先端分野の製造装置には欠かせない真空ポンプを開発・供給しており、日本国内にも複数の拠点を展開。除害装置や排ガス処理機器もラインアップし、環境対応にも注力しています。
ドライポンプやターボ分子ポンプなど、研究用途から量産ラインまで幅広い対応が可能で、技術力・製品力・サポート体制すべてにおいてハイレベルな品質が保証されています。国際的な製造業で採用される信頼性の高い製品を求める企業に最適なパートナーです。
株式会社アンレット

株式会社アンレットは、独自の「ドライルーツ式真空ポンプ」によって、オイルや水を使わないクリーンな真空環境を提供するメーカーです。
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 会社名 | 株式会社アンレット |
| 住所 | 愛知県海部郡蟹江町宝1丁目25番地 |
| 電話番号 | 0567-95-1211 |
| 公式HP | https://www.anlet.co.jp/ |
1985年にドライポンプ事業を開始して以来、環境性能・省エネ性に優れた製品を次々と開発。特許取得済の「エンドレス方式」は、低騒音・長寿命・高効率を実現し、医療・食品・化学・研究分野など多様な現場で高評価を獲得しています。
製品ラインアップは2段~6段の多段式ルーツ真空ポンプを中心に、100種類以上のモデルを展開。さらに、カスタマイズ対応にも柔軟で、作業環境に合った設計が可能です。環境負荷を低減しながら、確実な性能を求めるユーザーに適した選択肢です。
大晃機械工業株式会社

大晃機械工業株式会社は、船舶・プラント・インフラ向けのポンプや送風機を手がける、日本を代表する総合流体機器メーカーです。
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 会社名 | 大晃機械工業株式会社 |
| 住所 | 〒742-1598 山口県熊毛郡田布施町大字下田布施209-1 |
| 電話番号 | 0820-52-3111 |
| 公式HP | https://www.taiko-kk.com/ |
真空ポンプ分野では、水封式や液封式を中心に、過酷な環境下でも安定した性能を発揮する堅牢な製品を提供しています。長年にわたって積み重ねた技術力と経験をもとに、産業用機械や製造ラインへのカスタム対応も可能です。
近年では、IoTやデジタルツイン技術を取り入れたサービス開発も進めており、メンテナンス性や遠隔監視にも配慮。海洋産業や重工業、特殊用途に強く、信頼性と長寿命性を求める現場に適したメーカーです。
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所は、1912年創業の歴史ある総合機械メーカーであり、ポンプ・送風機・冷凍機などの流体機器で世界的に知られています。
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 会社名 | 株式会社荏原製作所 |
| 住所 | 〒144-8510 東京都大田区羽田旭町11-1 |
| 電話番号 | 03-3743-6111 |
| 公式HP | https://www.ebara.com/jp-ja/ |
真空ポンプ事業では、半導体や液晶パネル製造装置向けのドライ真空ポンプやターボ分子ポンプなどの高性能機器を展開。荏原の製品は、高真空領域から大気圧近くまで幅広い圧力帯に対応しており、研究・医療・電子部品製造など、多岐にわたる業種に採用されています。
環境対応技術にも力を入れており、省エネ・小型・低振動の実現を追求。国内外に広がるサポート体制と技術力の両立が、導入後の安心にもつながる大きな強みです。
アネスト岩田株式会社

アネスト岩田株式会社は、真空ポンプにおいても高性能な製品群を展開する国内メーカーで、特に「ドライスクロール真空ポンプ」分野で業界をリードしています。
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 会社名 | アネスト岩田株式会社 |
| 住所 | 〒223-8501 神奈川県横浜市港北区新吉田町3176番地 |
| 電話番号 | 045-591-1111 |
| 公式HP | https://www.anest-iwata.co.jp/ |
オイルを使用しないシンプル構造のため、メンテナンス性に優れ、医療・食品・研究開発といったクリーン環境下に適しています。
さらに、防爆仕様や台車付きなどのカスタマイズにも柔軟に対応。導入前の無料トライアルや見積無料のメンテナンス体制など、ユーザーサポートも充実しており、初導入の企業にも安心です。
スクロールポンプの利点を最大限に活かしたシリーズ展開で、静音性・耐久性・省スペース性を重視する現場に好適な選択肢です。
日本ブッシュ株式会社

日本ブッシュ株式会社は、ドイツに本社を持つBuschグループの日本法人で、グローバルに展開する真空技術のリーディングカンパニーです。
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 会社名 | 日本ブッシュ株式会社 |
| 住所 | 〒259-1220 神奈川県平塚市めぐみが丘1-23-33 |
| 電話番号 | 0120-896-111 |
| 公式HP | https://www.buschvacuum.com/jp/ja/company/busch-jp/ |
国内では食品、包装、医療、化学、電子部品など多岐にわたる産業向けに製品を提供。ロータリーベーン・スクリュー・クロー・リキッドリングなど多種多様な真空ポンプを揃えており、さまざまな使用条件や業界のニーズにマッチする製品構成が強みです。
堅牢な設計とメンテナンス性に加えて、グローバル品質を保ちながら日本市場にも密着したサポート体制を構築。信頼性重視の生産設備に適した、高性能かつ柔軟なソリューションを提供しています。
株式会社宇野澤組鐵工所

株式会社宇野澤組鐵工所は、真空ポンプの分野で日本最古の歴史を誇るメーカーのひとつです。
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 会社名 | 株式会社宇野澤組鐵工所 |
| 住所 | 〒146-0092 東京都大田区下丸子2丁目36-40 |
| 電話番号 | 03-3759-4191 |
| 公式HP | https://www.unozawa.co.jp/ |
主に液封式・水封式真空ポンプの製造に注力しており、化学・食品・製薬・電力などの分野で幅広い納入実績を持ちます。大容量タイプや特殊条件下での運転が可能な製品もあり、ユーザーのニーズに合わせたカスタム対応も可能です。
また、保守部品の供給体制やメンテナンスサポートも長期的に充実しているため、導入後も安心して運用できる体制が整っています。「堅実な設計思想」と「高い実用性」を兼ね備えた製品群は、安定運転を重視する現場に最適です。
オリオン機械株式会社

オリオン機械株式会社は、真空ポンプの他にも冷却機・エアドライヤー・除湿機など、空気・流体機器を広く手がける総合メーカーです。
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 会社名 | オリオン機械株式会社 |
| 住所 | 〒382-8502 長野県須坂市大字幸高246 |
| 電話番号 | 026-245-1230 |
| 公式HP | https://www.orionkikai.co.jp/ |
真空ポンプ製品では、ドライ式・オイル式・水封式と豊富なラインアップを提供し、工業・医療・研究・分析など多様な分野で採用されています。静音性に優れ、コンパクトで扱いやすい設計が特長。特に省エネモデルやクリーンルーム対応品など、現場ニーズに応じた機種展開が充実しています。
サポート体制や保守サービスも手厚く、初めての導入から設備更新まで長く使える安心感があるメーカーです。
まとめ

真空ポンプは、目的とする真空状態に応じて最適な機種を選択する必要があります。
目的の真空状態を実現する場合には、次のような真空ポンプの利用がおすすめです。
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 低真空 | 油回転真空ポンプ、ドライ真空ポンプ |
| 中真空 | メカニカルブースターポンプ、油回転真空ポンプ |
| 高真空 | ターボ分子ポンプ、油回転真空ポンプ、油拡散ポンプ |
ドライ真空ポンプは、油や液体を使用しないため、きれいな状態の真空を実現できるメリットがあります。
また、油回転真空ポンプはオイルミストトラップを排気口につけると、オイルを排除できるため、メンテナンスが容易になるうえに低振動で運転するため扱いやすくなることも念頭におきましょう。
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