振動ピストン型ドライ真空ポンプとは？特徴や用途、選ぶ際のポイントを解説

ドライ真空ポンプを検討している際、揺動ピストン型ドライ真空ポンプが候補に挙がる方は、多いのではないでしょうか。揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、ピストンの動きで気体を圧縮して排出する機器です。

メンテナンスもしやすく、日常点検や部品交換がスムーズにできます。しかし、機能やメンテナンス性でドライ真空ポンプの種類を決めると、後悔する可能性が高いです。

そこでこの記事では、揺動ピストン型ドライ真空ポンプの特徴や使用されている分野について解説します。揺動ピストン型ドライ真空ポンプについて詳しく知るためにも、この記事をチェックしてみてください。

揺動ピストン型ドライ真空ポンプとは？

揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、油を使わずに真空状態を作り出す装置です。ピストンが揺れるように動くことで、気体を圧縮して排出します。

油を使わないため、排気ガスがクリーンで、メンテナンスも容易なのが特徴です。主に、分析機器や医療機器、半導体製造装置など、清潔な環境が求められる分野で活躍します。

また、コンパクトで軽量な製品が多く、持ち運びや設置が簡単なのもメリットのひとつです。耐久性が高く、長期間安定した性能を維持できる点も評価されています。

揺動ピストン型ドライ真空ポンプの特徴3選

揺動ピストン型ドライ真空ポンプの特徴は以下の3つです。

• 低真空領域で安定した圧力が得られる
• メンテナンスがしやすい
• 高い排気速度を実現できる

それぞれの特徴を把握して、揺動ピストン型ドライ真空ポンプの知識を深めましょう。

低真空領域で安定した圧力が得られる

揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、低真空領域で安定した圧力を得られるという特徴を持っています。ポンプ内部のピストンの動きが、比較的低い圧力範囲でも安定しているためです。

具体的には、ピストンが往復運動することで、一定の容積の空間を規則的に変化させ、気体を吸入・圧縮・排出します。ピストンが往復運動する動作が、低真空領域においても高い精度で維持されるため、圧力変動が少なく、安定した真空状態を保つことができるのです。

メンテナンスがしやすい

揺動ピストン型ドライ真空ポンプはシンプルな構造なため、メンテナンスのしやすさに定評があります。部品点数が少なく分解や組み立てが容易なため、日常的な点検や部品交換をスムーズにおこなうことが可能です。

また、オイルを使用しないドライ式のため、オイル交換やオイル漏れの心配がなく、メンテナンスの手間を大幅に軽減できます。主要部品の耐久性が高く、長期間安定した性能を維持できる点も、メンテナンス頻度を減らすことに貢献しています。

高い排気速度を実現できる

ピストンの揺動運動により、効率的に気体を圧縮して排出できるため、高い排気速度を実現できます。揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、ピストンのストロークを大きくできることから、高い排気速度を実現できるのです。

排気の仕方はダイアフラム型と似ていますが、ダイアフラム型はピストンのストロークを大きくできません。揺動ピストン型ドライ真空ポンプとダイアフラム型の違いは、ピストンのストロークの大きくできるかにあります。

揺動ピストン型ドライ真空ポンプの用途3選

揺動ピストン型ドライ真空ポンプは以下の3分野で活躍しています。

• 半導体製造産業
• エレクトロニクス機器産業
• 医療用機械

それぞれの分野でどのように活躍しているかをチェックしてみてください。

半導体製造産業

半導体デバイスの製造プロセスでは真空環境が不可欠です。揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、真空環境を作り出すために使用されます。

具体的には成膜やエッチング、イオン注入などのプロセスにおいて、真空排気をおこない、高品質な半導体デバイスの製造を支えています。揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、油を使用しないため、クリーンな真空環境を実現できるのが特徴のひとつです。

半導体製造のような、わずかな油分や異物も許されない環境において、広く利用されています。

エレクトロニクス機器産業

液晶ディスプレイや有機ELディスプレイの製造において、真空蒸着やスパッタリングなどの工程で、高性能な真空ポンプが求められます。揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、製造プロセスにおいて、均一で高品質な薄膜形成に貢献しています。

電子部品の実装工程においても、真空リフローや真空乾燥といった用途で、揺動ピストン型ドライ真空ポンプが使用されるケースが多いです。真空環境を利用することで、部品の酸化を防ぎ、高品質な実装を実現します。

医療用機械

揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、医療分野でもさまざまな医療機器に利用されています。たとえば、手術室で使用される吸引装置です。手術中の体液や血液の吸引、患者の呼吸を補助する人工呼吸器などにも利用されています。

また、歯科医療の現場では、患者の唾液や血液を吸引する装置、歯科用インプラントの製造装置などにも利用されています。医療機器の滅菌装置にも揺動ピストン型ドライ真空ポンプが活用されているのです。

滅菌装置は、手術器具や医療機器を高温の水蒸気で滅菌処理する装置です。真空状態にすることで水蒸気が隅々までいき渡り、確実に滅菌処理をおこなえます。

ドライ真空ポンプメーカーを選ぶときのポイント3選

ドライ真空ポンプメーカーを選ぶときのポイントは以下の3つです。

• ドライ真空ポンプの種類が豊富にあるか
• 信頼・実績のある企業か
• 複数のメーカーを比較する

それぞれのポイントを把握して、メーカー選びの参考にしてみてください。

ドライ真空ポンプの種類が豊富にあるか

ドライ真空ポンプメーカーを選ぶ際、製品ラインナップの豊富さは重要なポイントです。ドライ真空ポンプには、スクロール型やスクリュー型、クロー型など、さまざまな種類があります。

メーカーによっては、特定の種類のポンプに特化している場合や、幅広い種類のポンプを提供している場合があります。多様な製品ラインナップを持つメーカーは、顧客のさまざまなニーズに対応できる可能性が高いです。

豊富な製品ラインナップは、メーカーの技術力や開発力の高さを示す指標にもなります。さまざまな種類のポンプを開発・製造できるのは、幅広い技術とノウハウを持っている証です。

信頼・実績のある企業か

長年の実績を持つ企業は、技術力やノウハウが蓄積されており、安心して製品を導入できます。企業の設立年数や業界での実績を確認しましょう。長年培われた経験は、製品の品質や信頼性に直結します。

導入事例や顧客の評判を調べることも大切です。実際に製品を導入した企業の声を参考にすることで、信頼性を判断できます。

ISO認証などの品質管理に関する認証を取得していると、製品の品質や企業の信頼性が高いといえるでしょう。

複数のメーカーを比較する

各メーカーは独自の技術や強みを持っており、用途や求める性能によって最適な選択肢が異なります。まず、各メーカーの製品ラインナップを確認し、必要な排気速度や到達圧力、対応ガス種などを比較しましょう。

また、耐久性やメンテナンス性、消費電力などのランニングコストも重要な比較ポイントです。アフターサービスやサポート体制も確認し、長期的な視点で安心して使用できるメーカーを選びましょう。

複数のメーカーから見積もりを取り、価格や納期、保証内容などを比較検討することで、より最適な選択ができます。

ドライ真空ポンプでおすすめの会社3選

ドライ真空ポンプでおすすめの会社は以下の3社です。

• 神港精機株式会社
• 株式会社アルバック
• 樫山工業株式会社

それぞれの会社の特徴を把握して、どのドライ真空ポンプメーカーが合うかの参考にしてみてください。

神港精機株式会社   

神港精機は、長年にわたり真空技術を追求してきた専門メーカーであり、技術力と信頼性は業界内でも高く評価されています。神港精機のドライ真空ポンプは、高い性能と耐久性で、さまざまな産業分野で活躍しています。

半導体製造や医療機器、分析機器など、幅広い分野でその技術が活用されており、顧客のニーズに合わせた多様な製品ラインナップも魅力のひとつです。また、神港精機は製品の品質だけでなく、顧客へのサポート体制も充実しています。

専門知識を持ったスタッフが製品の選定から導入、メンテナンスまで、きめ細やかなサポートを提供してくれるため、安心して利用できます。

株式会社アルバック

アルバックは真空技術で世界をリードする企業で、ドライ真空ポンプにおいても高性能で高品質な製品を提供しています。長年培ってきた高度な技術力と、顧客のニーズに合わせた製品開発力が大きな特徴です。

耐久性やメンテナンス性にも優れており、安心して長く使える点も魅力です。サポート体制も充実しているため、導入からアフターサービスまで、安心して任せられます。

樫山工業株式会社

樫山工業株式会社は、ドライ真空ポンプにおいて高い技術力と信頼性を誇る企業です。半導体や液晶、医薬品、食品など、幅広い産業分野で樫山工業のドライ真空ポンプが活躍しています。

樫山工業のドライ真空ポンプは、独自の技術により、高い真空度と排気速度を実現しています。耐久性にも優れており、長期間安定した運転が可能です。

豊富なラインナップを取り揃えており、最適なドライ真空ポンプを提案してくれるでしょう。

まとめ

揺動ピストン型ドライ真空ポンプは排気ガスがクリーンでメンテナンスが簡単です。コンパクトで軽量な製品が多いため、多くの分野で活躍しています。

低真空領域で安定した圧力を得られるのも魅力的なポイントです。比較的低い圧力範囲でも安定します。

この記事を参考にして、自社に合うドライ真空ポンプ選びをしてみてください。